加工范围
腔体本体与门体
方腔、圆腔、异形腔体的板金与机加工本体，含腔门、铰链座与锁紧结构。
观察窗与电极接口
视窗法兰面、电极引入座、馈通安装孔，按接口标准控制孔径与位置度。
内部支撑与挡板
靶座、基片架、挡板与内部支撑件，控制平面度与装配间隙。
方腔、圆腔、异形腔体的板金与机加工本体，含腔门、铰链座与锁紧结构。
视窗法兰面、电极引入座、馈通安装孔，按接口标准控制孔径与位置度。
靶座、基片架、挡板与内部支撑件，控制平面度与装配间隙。
需要说明的是：我们交付的是腔体零件与结构件，不承接整机装配与真空系统集成；检漏由整机方或系统集成方完成，我们可按您的检漏工装要求配套封堵件与夹具。